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上海微电子已经成功生产光刻机了么？这个领域国内是什么水平？
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发布时间：2020-12-06加入收藏来源：互联网点击：
上海微电在前道光刻机领域仅能提供低端光刻机
光刻原理其实特别简单，就跟我们在沙滩上晒太阳一样，光线能直接照射到的地方皮肤就会呈现黝黑的颜色，而被遮挡的地方皮肤就会呈现白皙的颜色。早期的光刻机其实和照相机显影技术并无二致，所以也就能理解为什么做照相机的佳能和尼康为什么会闯入光刻机领域。
基于光刻机的原理很简单，早期的芯片工艺制程水平也并不高，所以我国大致是在1965年前后拥有光刻机。1445所在1977年就研制成功了一台接触式光刻机GK-3。接触式光刻就是直接将掩膜直接贴到硅片上用灯光照射，这种工艺最难的地方在于要在底片上刻出1微米分辨率的线条，而光照并不是太大的难题。这么说想必大家要翘尾巴了，要知道西方在1978年就已经推出了成熟的分布投影光刻机了。拜读过《朱煜：精密事业》就知道我们的半导体工业为什么会落后别人一大截，国情使然，这里就不再大篇幅陈述。
如今的半导体产业已经成为了一个全球性的巨大产业链条，我们已经完全有能力生产7nm甚至更低nm的芯片，关键在于我们的材料和设备受制于人，高端光刻设备对于光学技术和供应链要求极高，拥有极高的技术壁垒，是全球产业链整合出来的产品，比如ASML光刻机的光源来自美国、镜头来自德国、阀件来自法国，这些不是有钱就能买得到的，因为欧美国家对我们实施了技术封锁。
光刻机的市场需求并不高
ASML的EUV光刻机拥有10万个主要部件，镜子都需要数月才能打磨到理想的平滑度，运输是需要41辆超大型卡车，所以ASML每年仅能生产百来台，所以也就能理解尼康和佳能逐渐势弱。
光刻机不开张则已，一开张就能吃好几年。ASML在研发费用方面长期处于行业领先地位，研发费用占到了总销售额的20%左右。ASML也拥有大量的现金，所以研发并不会受到经济周期的影响。
这些都得益于ASML独特的公司股权架构，只有注资ASML公司成为股东之一才能够获得优先供货权，毫无疑问英特尔、三星、台积电都是ASML的股东，如今的ASML已经成为不折不扣的美系资金企业。
上海微电子也并没有那么悲观
鲲鹏有鲲鹏的活法，蚍蜉有蚍蜉的活法。当国外巨头都在耻笑上海微电子有近二十年的代差，几十上百年都很难追上，谁又规定了蚍蜉不能一路打怪升级呢？当一种技术封锁上升到国家层面时，举国之力发展半导体产业自有生态离成功并非难事，日本、韩国的半导体产业就是这样发展起来的。
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回答于 2019-09-11 08:43:50
已知，上海微电子是负责整机集成、生产的，不过呢，在关键部件的供应渠道上却跟荷兰的ASML、日本的尼康以及佳能大不一样，这与衡量我们国内光刻机在世界上“是什么水平”有关！
作为国内最强光刻机生产厂的上海微电子与其“国内配套厂”合力生产出的90纳米光刻机代表了我们国内目前在世界上的水平。上海微电子在2016年已经生产出可量产的低端光刻机，占有了国内80%的市场份额，这便是我们国内现有的实际水平，远远低于荷兰与其“配套国”已经达到的5纳米水平，其EUV光刻机自2017年生产出以来已经出售100台；距离日本的水平也挺远，据报道，曾经的全球第一、现在的日本第一光刻机制造商尼康与其“国内外配套厂”已经生产出38纳米以下DUV光刻机，可制造工艺制程不超过7纳米的芯片，另有报道说在2014年就已经生产出28纳米光刻机，尼康不止用到了美国和德国的技术。
据报道上海微电子与其“国内配套厂”即将生产出国内第一台28纳米沉浸式光刻机。已经通过了技术检测和认证，将在今年到明年之间生产出可量产的中端光刻机整机，相信是真的！距合力生产出90纳米国产光刻机的2016年已达到6个或将达到7个年头嘛，而一旦生产出，就一定能满足国内芯片生产的绝大部分需求，且不说也可生产出一定数量的7纳米芯片良品。自然，这样的水平还是低于荷兰的ASML与其国外配套厂，使得我们国内的水平仍然远低于荷兰与其配套国；而又有报道说尼康在2020年出货了11台能制作14纳米芯片的光刻机，如果属实（我倒是并不相信），就表明我们国内的水平在今后不止一两年的时间里还是低于日本，尽管已经接近。
多年以来人们是在拿我们国家一国跟荷兰+多国、日本+多国“比水平”！“一国造”跟“多国造的光刻机固然是可比水平的，分得出高中低，并且，我们国家的一国造确实还比不过多国造，无论整机还是关键部件，中国都只是已经达到低端水平、即将达到中端水平，比不过站上高端的荷兰与其配套国，也比不上日本与其配套国所达到的中端水平；我们国家要达到整机和关键部件分别比得上，都更费时日，只因为越发只能主要依靠一国之力。然而，毕竟在集成生产整机上，世界上只有 2 个国家才可比我们国家；毕竟在关键部件研发和生产以及供应上，世界上没有几个国家才可比我们国家，重要的是，那 2 个国家跟我们国家在关键部件研发和生产以及供应上具有不可比性，那几个国家跟我们国家在整机集成生产上具有不可比性，而照此发展下去，当上海微电子集成生产出EUV光刻机、国内配套厂研发生产出并供应上高端关键部件，世界上会有哪个国家可比我们国家？不必怀疑，我们国内迟早必定达到这个水平！
回答于 2019-09-11 08:43:50
由上海电气(集团)占股42.3%的上海微电子装备公司(SMEE)，是我国唯一生产光刻机的股份制企业，承担着光刻机研发突破重任。其量产的90nm光刻机在我国有80%的市场份额，在半导体设备商中排名第五。
一、上海微电子目前能生产制程28nm工艺节点的光刻机。
上海微电子2020年6月5日宣布：2021年将交付第一台国产的、第二代深紫外光沉浸式DUV光刻机。
证实在DUV光刻机制造层级上，关键的光源曝光计量、透镜精密加工技术，重要的光刻胶、等离子气体等材料，包括调试和维护保养方法，上海微电子已追上荷兰ASML的DUV光刻机水准。
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