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国产光刻机能实现多少nm工艺制程？
光刻,华为,芯片国产光刻机能实现多少nm工艺制程？
发布时间：2016-12-08加入收藏来源：互联网点击：
回答于 2019-09-11 08:43:50
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国产光刻机能实现多少nm工艺制程？
题主问题的核心是国产光刻机能实现多少nm工艺制程？根据现在来看最高可以生产的时90nm，但是有最新消息爆出来现在已经来到了7nm，当然这可不是中芯国际，说直白一点中芯国际的14nm光刻机其实还是来自于ASML的，所以算不上是真正的国内自研发，而目前国内的企业有很多，但是上海微电子相对来说是走在前列的。
根据网友的爆料显示，上海微电子最高年底可以实现7nm。的
简答一点来说就是上海微电子将于今年（2020年）12月下线首台采用ArF光源的可生产11纳米的SSA800/10W光刻机(单次曝光28nm节点浸没光刻机)，采用NA1.35透镜组，并搭载超精密磁悬浮双工件台和超纯水浸入系统。同时采用华卓精科工作台的套刻精度指标优于1.7纳米。该光刻机有生产7nm制程的潜力（多次曝光）。
而且同时贴出SMEE的双工件台曝光系统的操作控制界面。同时还透露长春光机所正基于哈工大DPP-EUV光源研制EUV曝光机，预计两年内可推出。这个消息确实低于国人来说兴奋的，从90nm直接来到了7nm而且未来两年的时间EUV工艺可以实现，也就意味着中国的光刻机技术可以和世界顶级的相比了，当然和ASML这样的厂商还有差距，不过我们要知道这是国内自主研发的。光刻机我们要知道最难的点其实在两个地方，也就是两大核心部件为双工件台和曝光系统。而根据媒体的报道称这些是有清华大学朱煜教授带领的团队在2014年研发出工件台样机。
已经来到了比如掩模台/硅片台同步扫描指标实测达到MA：2.2nm、MSD:4.7nm，使中国成为第二个掌握此技术的国家。随后依托该技术产业化成立华卓精科向市场推出商用光刻机双工件台产品。
另外在EUV曝光系统方面，长春光机所于2002年研制国内第一套EUV光刻原理装置，于2016年成功研制了波像差优于0.75 nm RMS 的两镜EUV 光刻物镜系统，2017年32nm线宽的13.5nm极紫外光EUV光刻曝光系统通过验收。科益虹源在2018年成功商用的浸没式193nm准分子激光器。
而且依托浙江大学研发团队的启尔机电推出了可用于最高11nm制程浸没式光刻机的浸液系统。中微半导体也推出用于5nm制程蚀刻机。南大光电研发出193nm光刻胶。华为自研EDA已进行7纳米验证。
总结
之前其实国内针对媒体的提问说针对华为的问题怎么看？国内的相关人士回应说如果国外依然是对于华为制裁，而且没有缘由，那我们将会对于现有的高通，四颗，以及波音和苹果进行限制，其实可见国内对于科技方面的自信，所以基本上上面曝光的信息很大一部分是真实的，国内自主研发的光刻机年底实现7nm，而两年之内提升到了EUV7nm，虽然和ASML有差距，但是对于我们平时使用来说确实已经完全够用，如果真的国外技术全部彻底，我们至少也不用担心再回去到14nm时代了。
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回答于 2019-09-11 08:43:50
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很荣幸能够回答这个问题。近期，因为美国要对华为进行升级打压，要限制所有给华为代工芯片的公司，在给华为生产芯片时，必须得获取美国授权。因此，台积电能不能继续给华为代工芯片，成了非常关键的问题，而我国的中芯国际跟台积电比还有很大差距，主要原因就是没有先进的EUV光刻机。那么，国产光刻机现在是什么样的水平呢，能生产多少nm芯片呢？
首先，我国光刻机现在处于在什么水平
我国光刻机研发由于起步较晚，现在还处于初级阶段，上海微电子目前可以量产的是90nm技术的光刻机，这个工艺生产的芯片不能用于手机、平板等电子设备上，只能用于航天和军事领域。近期已经研发出了22纳米的光刻机通过验收，代表国产光刻机的最高技术，但还未达到量产水平，理论上可以使用这个光刻机制造出14nm的芯片，
其次，我国光刻机跟ASML有多大差距
我国研发的22nm光刻机并没有使用荷兰ASML的技术，虽然可以使用光栅、晶体阵列来进行制造，但无法用复杂IC图案制造，与ASML的距离还很大，而且ASML已经能已经能够生产5nm工艺的EUV高级光刻机，正在向1nm进军。我国光刻机跟ASML相差4代，大约需要15年才能赶上ASML目前的技术水平。
第三，我国光刻机发展面临有多少困难
ASML之所以厉害，而是全世界的产业链相结合。ASML就是控制，把13个分系统，数万个零件完全调动起来！上海微电子和ASML相似，也是主导控制系统，这一方面非常难得，然而国内的产业链还达不到ASML产业链的高度。但是基本上各个产业链都有公司在做，只是与国外最顶级企业有着一定的差距。
结语：国产光刻机任重道远，需要发力的不是只有半导体企业，更需要全国全产业链的配合！但可喜的是我们已经开始，各产业链都有公司在做，并且都已经做了一定的成绩。虽然和ASML在技术上还有很大的差距，但是只要行动起来，有一群甘心研发的人，总会有赶超的那一天！
那么，大家觉得对我国目前光刻机的发展是怎么看的，有什么好的建议吗？
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回答于 2019-09-11 08:43:50
自从美国加大力度针对华为在芯片上的封锁之后，大家对于华为的前景也是非常的担心，那么在asml不提供光刻机，台积电也因为种种原因不再为华为提供芯片生产的话，华为该怎么办？
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