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中国高端光刻机技术现在如何？
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发布时间：2019-02-08加入收藏来源：互联网点击：
不仅是技术难度高，ASML高端光刻机的产量很低，ASML还有个奇特的规定，只有投资ASML，才能获得优先供货权。三星、英特尔、海力士、台积电在ASML有相当的股份，大部分订单也被这些厂商占有。
上海微电子
我国唯一一家研发光刻机的厂商是上海微电子有限公司，成立于2002年，所生产的光刻机主要集中于中低端市场。上海微最先进的光刻机是SSA600/20，制程工艺为90nm，相当于2004年奔腾四CPU的水平，距离全球最先进的7nm制程工艺还有一定的差距，ASML明年将量产5nm制程的光刻机。正因为如此，国内晶圆厂商所需的高端光刻机完全依赖进口。
中芯国际
说到光刻机，不得不提中芯国际，可以提供0.35微米到28nm制程工艺的晶圆代工服务。中芯国际已经突破了14nm制程工艺的技术，大规模量产有望在2021年实现。
中芯国际曾在2018年4月，在ASML成功预定一台7nm EUV制程工艺的光刻机，价值1.2亿美元，原计划2019年年底交付，2020年中期完成安装。
最近，ASML决定暂时终止向中芯国际交付EUV光刻机，原因可能是“担心刺激到美国，将最先进的芯片设备运往中国，将会使美国政府感觉不安”。
总之，我国的高端光刻机技术与世界先进水平还有一定的差距。ASML暂停向中芯国际提供EUV光刻机，以及华为被美国列入实体名单，种种事件验证了“自己有的才是真的，只要你突破了技术，就没有人能卡住你的脖子”。
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回答于 2019-09-11 08:43:50
如下图，在光刻机技术上，分为如下四个档次，高端是指7-28nm，超高端是指7/5nm，中端是65nm+，低端是90nm+。
所以中国没有高端光刻机，甚至连中端都没有，只有低端光刻机，目前能够生产出来的还是在90nm技术，还在攻关65nm技术。
目前国内排名前三的光刻机厂商分别是上海微电子装备(SMEE)、合肥芯硕半导体有限公司、无锡影速半导体科技有限公司。
先说一说上海微电子装备(SMEE)，是国内最先进的光刻设备生产商了，但也只能提供最高90mn的工艺技术，在整体水平上处于低端水平。
而合肥芯硕半导体有限公司成立与2006年4月，是国内首家半导体直写光刻设备制造商。该公司自主研发的ATD4000，已经实现最高200nm的量产。
无锡影速成立与2015年1月，也已经实现最高200nm的量产，所以说中国的水平离国际水平真的差太远太远。
从90nm到7nm/5nm，10年9年的差距至少有吧，说不定时间更长。
可见，要想达到ASML的水平，真的是和万里长征差不多，还刚刚起步，但不管再难，也得继续研究，毕竟自己没有，就要被人卡脖子啊。
最后提一提90nm后的一些技术，按照专家的说法，从90nm到65nm不会太难，但从65到45nm就有点难了。
而从45nm到32nm也不难，而从32到22nm就又了，而在这之后，更是一步一台阶，越来越难，尤其到达EUV，也就是极紫外光刻机，就是真正的大台阶了
回答于 2019-09-11 08:43:50
国家在半导体芯片领域于前几年开始持续加大投入，从高端的构架设计到光刻机研制到下游的芯片制造封装都会有全面提升，就目前而言我国在这方面的投入还是太少，作为半导体芯片最大市场，我们还要持续加大投入，培养半导体相关人才，加大研发投入可望在短期内有所突破。
回答于 2019-09-11 08:43:50
ASML否认断供中国，实际上5月份就有一台光刻机搬入了中芯国际。而ASML说出口光刻机需要荷兰政府许可证，而中国许可证只是年底到期，他们正在续期。（在《瓦森纳协定》的33国家，以及ASML股东英特尔、三星和台积电可以获得销售，但是中国不在协定名单，所以需要许可证。上一台机器也延迟交货，原因是配件供应商火灾）
光刻机的关键不在ASML
光刻机靠完全零部件自给基本是不可能完成的，即使我们现阶段90纳米以上的光刻机，你依然要依赖大量的国外进口配件。如今最先进的紫光EUV光刻机（其实紫光光刻机不是只能做7nm芯片，如果你技术跟上，你可以做3nm芯片。），其大量技术本身来自于西方各国，90%的配件对外采购，可以说，他是西方工业化百年集大成者。所以，不要盯着ASML。
比如紫光技术，就是来自于美国国防部的技术，是星球大战计划的时候产生的技术。光束要达到一定级别是很难的。
比如集成电路曝光线路，早期是英特尔七叛逆时代和肖克利实验室的成就（也就是光刻技术的起点，也是摩尔定律的起点）。
比如浸没式光刻技术是从台积电过来的，这个创意提出后由ASML实践。
比如专用反光镜片需要非常精细的精工技术，所以大部分镜片来自蔡司工业。这家公司从1846年就专注在镜片这个领域，不是随便一家公司能够超越的。
比如那家配件供应商Prodrive,元器件提供商，总部在荷兰，美国和中国苏州都有分公司。
比如新邦电子（台湾）、光罩股份（台湾）、布鲁克斯自动化（瑞典）、sparton公司（美国）、贰陆股份（美国）、尼康（日本）。还有很多，这只是很小的一部分。
所以实际上，如今这个产业链当中，也就芯片制造业如今掌握在西方整个工业手里，树立了专利壁垒强。这里面不只是专利，而且还有精工元器件，德国很多企业不申请专利，因为他们怕申请专利被人抄袭，所以这些技术是硬技术，他们自信你追是追不上的。你要向上追，那么你在每个行业都要积累百年的技术。
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