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“神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?
光刻,荷兰,技术“神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?
发布时间:2020-12-06加入收藏来源:互联网点击:
德国Zeiss,光学镜头系统
德国Trumpf,激光等离子发生器
这三家企业都是各自领域内的全球性巨头。
这还只是最主要的三家企业,对于需要全球最优秀的企业一起合作才能搞定的EUV系统,
你会觉得中国有哪家企业或是机构可以搞定吗?
无论是中国最强科技企业(华为)还是最大科研机构(中科院)都无法搞定,只有全国之力才有点机会
回答于 2019-09-11 08:43:50
“神兽”光刻机之战,大胆猜测哪一家中国公司能够解光刻机之围?如果国产光刻机要真正突破重围,达到荷兰ASML的高端机的高度,仅靠某一家国内公司可以说是不可承受之重。只有发动整个产业链的发展,才能在真正取得光刻机的突破。
目前国产光刻机主要集中在低端领域,难以向上突破至中高端,并不只是整机厂商的原因,更是受困于整个产业链的状况。目前国内生产能够生产光刻机的厂家有诸如:上海微电子集团、合肥芯硕半导体、无锡影幻半导体等。但他们生产光刻机的水平,与顶尖的荷兰ASML的光刻机差距还相当大。
目前国产光刻机最好的是上海微电子集团,可以达到90nm制程,而其它两家只能达到200nm的制程。与日本尼康和佳能公司的28nm/45nm中端光刻机的距离不小,与荷兰ASML高端光刻机7nm/5nm制程差距更大。所以国内芯片制造企业一直在寻求荷兰ASML的高端机,但如中芯国际2年前即预定了的7nm EUV高端光刻机,但到现在还未知是否能到货。
国产光刻机的困难最为集中的困难,就是产业链的发展状况不如人意。想要的精密、高端的零部件无法从国内获得,同时因受困于发达国家泡制的对我们高科技产品禁运的《瓦森纳协议》,这些精密零部件也不能从国外获得,最终只有依靠我们自力更生才能得到。
一台高端光刻机差不多4万个零部件,其中涉及到关键的零部件,国外获取不到、国内生产不出。比如ASML可以从全球获取到最好的美国光源、德国镜片、法国阀件、瑞典轴承等,再加上其非常有经验且有工匠般的技术人才,所以能够垄断全球高端光刻机。而这些我们只能依靠我们自己,才能解决,但并不是由哪一家公司能够承担如此重任,而是要催动整个零部件产业链的发展才行。
虽有困难但终究在行动,比如在光源方面取得了不错的成绩。比如长春光学精密机械与物理研究所攻出了“极紫外光刻关键技术”、中科院搞出了光刻分辨力达到22nm的技术等,假以时日这些技术的突破能够得到生产实践并量产,光刻机的突破就有了希望。而其中整机生产的突破,可能会由发展了将近20年的上海微电子集团承担这一重责。
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回答于 2019-09-11 08:43:50
如果说自主技术,其实我国的光刻机还停留在上海微电子(SMEE)的90nm水平,而事实上它却代表着国内最先进的光刻机水准。而光刻机巨头ASML目前的水平是7nm EUV,事实上它也正朝着更先进的极紫外光刻机5nm工艺水平迈进了。国内外水平差距明显。
--图源上海微电子官网
光刻机的现况。
光刻机是半导体芯片制造业中的最核心设备,是芯片制造过程中的重要组成部分,可以说光刻机直接决定了芯片的质量。同时它也代表着高端半导体装备制造水平和支撑着集成电路产业朝前发展。
不过目前而言,荷兰ASML垄断了高端光刻机市场份额,日本尼康和佳能处于中端但同时竞争中低端市场。而上海微电子只有低端光刻机市场,至于28nm,14nm和7nm水平,其实距离还是比较遥远。
光刻机为何难?
光刻机涉及的技术非常复杂,需要很多顶级企业合作来完成,荷兰ASML也并非是一己之力,而是和英特尔、台积电、三星、海思等众多芯片巨头来通力合作。我国制造高端光刻机有各种阻滞问题,一方面因素就源于咱没有实力单独生产这些高端零部件,这也是我国光刻机长期停滞90mm的原因。
其次,光刻机最难的是紫外激光光源。需要经过光束矫正器、能量控制器、光束形状设置、遮光器等造成频率稳定、能量均匀的光源。还有透镜模组,要保证光通过物镜不变形,这都是极其复杂的系统工程。这些无疑给生产和制造带来巨大的阻力。
再者,光刻机对准系统需要具有近乎完美的精密机械工艺。涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术。
目前国内相关的机构也在重点突破光刻机技术,比如中科院光电所已经研究出光刻分辨力达22nm的技术,结合双重曝光技术可以实现10nm芯片的制造。但要明确是,要实现光刻机量产,需要数万个零部件要达到高精准度来支撑,目前国内产业链仍未达到。
确实,与一些发达国家在芯片制造方面存在很大差距,主要原因是光刻机的局限性。难在高端零部件难以单独生产,难在紫外光源,难在精密机械工艺…即使是国内最先进的上海微电子,也还有相当长的路要走。
回答于 2019-09-11 08:43:50
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光刻机可以说是人类社会上的集大成的智慧结晶的产品,在小小的芯片上面能够集成数以亿计的微电路,能够提供智能手机的中心大脑来使用,而目前的光刻机只有荷兰ASML公司能够制造最为顶级的光刻机,那么下面和大家一起来说一说哪一家中国公司可能会解决光刻机的问题。
光刻机技术封锁,只有集中国家实力来进行研发
在众多的工业设计中, 其实最难的事情并不是说设计手机芯片,而是制造手机所使用的芯片,而使用芯片则无法绕过光刻机的设备,大家都是知道德国这个国家的数字机床是非常的先进,难度也是非常之大的,而光刻机与之相比较的话,可能这里面的差距是非常之小的。
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