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我们能不能用逆向技术复制荷兰的光刻机技术?
光刻,荷兰,技术我们能不能用逆向技术复制荷兰的光刻机技术?
发布时间:2019-02-08加入收藏来源:互联网点击:
回答于 2019-09-11 08:43:50
说实在的逆向不了!
光刻机是一个庞大的系统,整个机器涉及多个子系统总计几万的配件,完全是产业全球化的产物,如果仅靠荷兰ASML自身它也是搞不定的,当然ASML自身也拥有大量的核心技术。
1、光刻机核心部件我们做不了
其实光刻机我国是有的,上海微电子有量产90nm光刻机,2018年时也已经在验证65nm光刻机,说明我国是有对应的光刻机技术的,只是这个技术还比较落伍。
这也从侧面说明了我国对于光刻机的核心原理是明白的,现在最大的问题是如何生产高端光刻机的核心组件,比如光源系统,双工件台。
这些核心组件本身就是一个独立的子系统,自身就是一台精密的设备,里面涉及到大量的高端技术,如果说这些组件的核心技术我们不掌握,显然就无法从根本上提升光刻机的整体水平。
就拿前面提到的光源和双工件台来说,前者目前目前我国的技术也只达到45纳米以下浸没式曝光光源小批量生产,后者有清华大学研制华卓精科生产,我国只能做到65nm精度的双工件台。
2、逆向并非你想象的这么简单
这里再说一件你可能想象不到的事情,荷兰ASML光刻机里使用的镜头都是蔡司提供的,而蔡司制造的这些镜头都是纯手工打造,并且生产这种镜头的工作人员几辈子都是做这种工作,对精度的把控绝对不是普通生产工人能实现的,这样制造模式你觉得你能逆向得了吗?
荷兰ASML光刻机中很多的细微零件都是定制,使用的都是当前世界的先进加工技艺,部分接口需要高精密度机械精心打磨,在生产调整过程中可能达到百万次。
就这种生产精度要求,对整个产业链的要求是相当高,你要逆向的绝不是一台光刻机,而是涉及到光刻机各子系统生产的所有零配件,这里包括了各种高精度的加工机械,这块我国本身也是弱项。
Lscssh科技官观点:
荷兰ASML是全球化生产,如果我国想要完全独立搞出高端的光刻机,那也就意味着国内核心供应商必须要达到全球顶尖的水平,而事实上我们现阶段根本做不到。
虽然我国目前是工业化门类最全的国家,什么都能产,但并不能什么做到最好。因此,逆向光刻机这条路是走不通的,我们正真要走的还是全面提升我国的科技研发水平,实体制造业的水平,而制造业的核心是提升材料学的水平,这里面一环扣一环,缺任一条件都不行。
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回答于 2019-09-11 08:43:50
我们究竟能不能逆向复制荷兰ASML光刻机技术呢?理论上来说它是可行的,而现实往往就是就是那么残酷,逆向复制是一个根本行不通的办法。
逆向复制为什么行不通
光刻机堪称人类智慧集大成的产物,它被称为现代光学工业之花。
1、知识产权专利
荷兰是一个非常重视知识产权的国家,每年都会申请大量的专利。我们想要去逆向复制它们的光刻机,难免就会碰上它们的各种关注光刻机专利技术,这些光刻机技术它们都是申请了专利。你想要用它们专利,自然要得到授权,况且这个授权并不一定会拿到。
2、关键部件买不到
一台顶尖光刻机需要上万个配件,这些配件来自全球不同的国家,同时它们也是整个行业最顶尖的公司生产制造的配件。我们就以光刻机必需的镜头和镜片来说,荷兰ASML的镜头都是来自于德国的蔡司提供。
据说蔡司工厂的一个职位是由祖孙三代从事,技术封锁很严重,同时想要得到顶尖镜片也需要上百年的技术积累和沉淀。并且这个东西不对我们出售,我们有钱也买不到它们的东西。
再就是光刻机必需的光栅,荷兰ASML公司的光栅是由美国顶尖的光学公司提供。美国一直警惕我们的发展,甚至处处限制我们的发展,自然不会卖给我们这个顶尖光栅。
3、企业技术保护
这一点与数控车床比较的像,国外对于出口我们的机床都进行保护。也就是车床安装位置固定,加工过程远程监控。只要是这个机器位置发生了移动或者其它的异常,远程就可以发现,会进行停机处理。并且如果你要拆开数控机床话,远程也会监控到,也就会把机器锁死,即使出现故障都是由他们国外厂家人员过来处理。
荷兰的ASML光刻机也是这个样,他们在光刻机的很多部位安装了各种传感器。一旦发现机器有各种异常,例如拆机,那么远程就会发出报警,它们完全可以把这个机器远程锁死。所以我们根本就做不到拆机,也就不用谈逆向复制了。
4、协议规定
在一些顶尖机器出售协议上,厂家已经明确进行了规定。你只有机器的使用权,各种技术故障、需要移动位置等工作都需要他们自己的工程师来处理。未经他们许可就拆解机器进行复制,违反协议规定,是要受到法律的制裁。
因此对于这些顶尖机器,就以光刻机和数控机床为例。我们得到的只是它的使用权,技术还在别人的手里,一旦我们进行把机器位置移动或者拆解,国外就进行远程锁定,这机器也就成了废铁。
并且在一些出机器售协议上,明确规定了不能移机,不能对机器进行拆解,所有这些工作需要由他们厂家工作人员处理。因此谈逆向复制,是根本不可行的。ASML首席执行官彼得·温尼克也表示:“ASML的EUV光刻机结构非常复杂,不存在被复制的可能性。
荷兰ASML为什么能够做出顶尖光刻机
1、专注光刻机领域
ASML不同于其它的企业,自1984年从飞利浦独立出来后,它深刻吸收了飞利浦解体的经验,35年来一直专注于顶尖光刻机研究领域。按道理来说,它们完全进军芯片生产领域,但是它们没有。
但是ASML一直专注光刻机的研究,没有去涉及其它领域,这也成就了它今天的霸主地位,占据全球80%以上的份额,也是全球唯一一个能做顶尖EUV光刻机的厂家。一台光刻机如今可以卖到7亿人民币,并且处于供不应求的状态,各个厂商排着队买,订单可以排几年。
2、独特技术分工合作
在光刻机研发上,荷兰的ASML并不是一个人在战斗。很多欧盟国家以及美国都是ASML的股东,它们都对ASML进行了投资。ASML内部也有规定,只有对它进行投资的公司才能够优先得到光刻机。像台积电、三星、德国蔡司都对它进行投资,才可以优先得到顶尖光刻机。
这些公司不单单对它进行投资,投资带来了很多的资金用于研发,也给它提供顶尖的技术和配件支持。这里要说的就是德国蔡司给它提供顶尖的镜片,才让ASML光刻机研发如此顺利。不单单蔡司一家,美国的企业也给它提供顶尖的技术支持。
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